上海澈芯科技有限公司

氮化镓晶圆衬底及外延片缺陷检测系统 Thea C720

晶圆制造

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Thea C720一款专门为识别氮化镓缺陷设计的检测系统。 该检测系统具备强大的多检测通道，采取了暗场、明场、表面斜率变化、相位、光致发光这5种互补的检测技术，能够对多种缺陷进行精细分类，例如Scratch、Particle、Pits、Crack、Shower Head、Hex Bump等。 该检测系统还具有分析工具, 生成全面的检查报告，能够帮助制造商敏锐捕捉工艺相关问题，识别并分类这些影响良率的缺陷；
碳化硅晶圆衬底及外延片缺陷检测系统 Thea C520

晶圆制造

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Thea C520一款专门为识别碳化硅衬底和外延缺陷设计的检测系统。 该检测系统具备强大的多检测通道，采取了暗场、明场、表面斜率变化、相位、光致发光这5种互补的检测技术，能够对多种缺陷进行精细分类，例如Scratch、Particle、Pits,衬底晶圆上的堆垛层错、微管，外延生长后的基平面错位（BPDs）、Carrot、Triangle、SF，Step Bunching等。 该检测系统还具有分析工具, 生成全面的检查报告，能够帮助制造商敏锐捕捉工艺相关问题，识别并分类这些影响良率的缺陷。
全自动有图形晶圆检测设备 Thea CK10

晶圆制造

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 Thea CK10 是澈芯科技PureChip最新推出的一款全自动有图形晶圆检测设备，全自研的光路设计，独特的照明方式使得能够精准控制缺陷达到最佳成像效果，自训练适应最佳检测波长选择可使recipe编辑更智能化；采用AOI+AI的图像处理方式使设备检出率更高；兼具检测的同时具备2D量测功能；模块化的设计可使设备功能兼容扩展性增强，用户可根据需求自由选择符合自身设计生产工艺
无图晶圆缺陷检测设备 Thea SP10

晶圆制造

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Thea SP10 是澈芯科技Purechip Tec. 最新一代的无图形晶圆颗粒度检测系统，可用于Si、SiC、GaAs、蓝宝石等多种晶圆的缺陷检测。Thea SP10通过多种激光器结合多通道探测系统，能够准确快速地检测晶圆表面缺陷，评估表面质量问题，从而能够更高效地识别工艺和设备问题，提高良率；

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