Thea CK10 是澈芯科技PureChip最新推出的一款全自动有图形晶圆检测设备，全自研的光路设计，独特的照明方式使得能够精准控制缺陷达到最佳成像效果，自训练适应最佳检测波长选择可使recipe编辑更智能化；采用AOI+AI的图像处理方式使设备检出率更高；兼具检测的同时具备2D量测功能；模块化的设计可使设备功能兼容扩展性增强，用户可根据需求自由选择符合自身设计生产工艺
设备亮点
2.独特的照明设计
3.智能化的recipe编辑
4.AOI+AI的检测模式
模块配置：
多物镜多相机的配置，使得可提供最高可达0.37μm的检测灵敏度；
具备明暗场双通道检测，并采用独特的照明设计方式，可根据检测图像控制照明方式，以达到缺陷最佳成像效果；
可导入CAD设计图纸，使Recipe编辑更简单化，可大大减轻用户在生产调试和维护Recipe的Loading；
采用die-to-die和Gold Die的检测算法融合，同时导入基于神经网络的深度学习算法，可进一步提升图像的缺陷分析和分类能力上限
