FSM 2025专为碳化硅衬底厂商设计，旨在对碳化硅晶锭产品进行三维重构、整体尺寸测量和表面缺陷检测，确保产品质量的稳定性和一致性，为企业优化产品设计和工艺过程提供大数据支撑，助力企业智能制造的转型。
FSM 2025采用非接触测量、PL荧光检测和视觉检测方法，可快速生成晶锭的高密度3D点云数据并可视化呈现，可测量整体尺寸，可检测表面的划痕、微管、包裹体、多晶、小角晶界、相变等缺陷，可对相关数据进行数字化存档，辅助客户实现产品生产的数字化追溯和管控。该检测设备可将以上功能整合成一键量测，自动化程度高，检测范围广，能够代替人工检测，有效提高检测效率、提升检测稳定性。

设备配备的用户友好型操作界面和强大的数据分析功能，使得操作人员能够轻松监控生产状态，及时调整工艺参数，有效追溯问题源头，进一步优化生产流程。